微表面加工方式

微結構表面可以用以下方式加工：金剛石精密車削、激光束加工、模壓加工、蝕刻技術、LIGA 技術、磨料噴射加工、微細電火花加工。近年來許多論文報道能夠用激光束加工微結構表面，但是其加工效率和制造精度低、加工范圍小；YAG 激光車削也許能在陶瓷上加工微槽陣列，但是這些槽的表面非常粗糙而且形狀還不規則；蝕刻技術加工微形陣列的均勻性尚未可控，微結構陣列只能大量、隨機地分布在微米級空間表面；LIGA 技術雖然能夠實現微結構的精密加工，但其過于昂貴的加工成本使得一般單位無法利用該技術加工微結構。利用成形磨削的方法，用特定形狀的砂輪通過控制磨削過程可以加工出滿足要求的微結構表面。該方法最早是在 1989 年提出來的，這種微磨削加工微結構表面的方法不僅成本低，而且效率還非常高。1994 年，利用這種成形磨削方法成功加工出氣體潤滑的陶瓷制動盤。因而，在嚴格保證光學元件表面質量的前提下對硬脆材料進行加工，微磨削技術體現出了其他加工方法難以比擬的優勢，例如微磨削加工技術可加工的零件范圍很廣，如時鐘諧振器、發動機和軸承的陶瓷零件、鍺非球面光學鏡片和光纖光柵等元件。

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